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采用化学共沉淀法制备Y2O3、ZrO2,Er2O3和Sb2O2基气体传感器。结果表明掺杂后的材料经煅烧后,平均晶粒尺寸均小于30nm,比未经掺杂的材料小,中掺杂体系不同成分材料制备成厚膜传感器,进行了对CO气体敏感度性能测试,发现掺杂稀土氧化物的气体敏感度较纯SnO2厚膜传感器高。其中掺杂Er2O3材料性能最好。