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环境振动是影响亚微米超精密机床加工精度的一个重要因素，为此提出了将模糊控制系统与空气弹筑隔振系统相结合的方法，用于亚微米超精密车床的振动控制。空气弹 主要作用是隔离较高频率的环境振动并支承车床；主动控制则是有效地控制低频环境振动的影响。针对机床系统振幅微小且有自激振动的特点，采用了带有两个调整因子的二维模糊控制器，其输入为速度和加速度信号，输出为作动器的控制电压。在ＨＣＭ－１亚微米超精密车床上进行