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提出了采用高温热裂解+电化学传感器进行三氟化氮气体检测的方法,克服了使用催化材料作为裂解器生成二次产物多,测量精度低的缺点。实验数据证明,该检测方法灵敏度高,检测限低,能够检测到最低0.1ul/L的三氟化氮气体,量程范围为0 ul/L~30ul/L。预热时间仅为5min,能够大大缩短等待时间。