论文部分内容阅读
目前对β-Zn4Sb3热电材料制备与掺杂的研究报道不多.研究了β-Zn4Sb3热电材料的磁控溅射并对其实施掺杂的过程,并分析了不同Ag射频功率下得到的β-Zn4Sb3热电涂层的膜层组织及其热电性能.测试结果表明:经过磁控溅射处理后试样表面形貌优化,形成了具有致密结构的表面.所有掺入Ag之后的β-Zn4Sb3涂层都比原始β-Zn4Sb3涂层达到了更高的电导率,而且电导率与Ag射频功率之间呈现正相关变化规律.没有掺入Ag的涂层具有最大的Seebeck系数,当Ag射频功率提高后试样Seebeck系数发生了降低的现象.掺入Ag之后的热电涂层试样达到了更大的功率因子;当测试温度上升后,掺入Ag的β-Zn4Sb3涂层则发生功率因子先升高后降低的变化现象.