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利用分段表面放电作为光抽运源，采用光解离XeF2技术，研制了一台XeF(C-A)蓝绿激光器。抽运源有效激活长度为60cm，单位长度的沉积功率为4.5MW/cm。在250PaXeF2/60kPaAr/40kPaN2条件下，采用平凹腔，输出耦合为4%，获得了XeF(C-A)激光输出。对XeF(C-A)激光特性参数进行了测量，输出能量为百毫焦耳量级，最大能量达167mJ，激光脉宽～600ns，辐射光谱范围470～500nm，发散角水平方向为1.7mrad，垂直方向为3.7mrad。