【摘 要】
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SQ—1型送气系统,是从美国克劳福公司引进的针阀、载止阀、五通、气体过滤器等各种阀门,接头及国内配套的气瓶、压力表、源架等组装而成的。该系统适用于离子注入机、材料改
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SQ—1型送气系统,是从美国克劳福公司引进的针阀、载止阀、五通、气体过滤器等各种阀门,接头及国内配套的气瓶、压力表、源架等组装而成的。该系统适用于离子注入机、材料改性机等各种需精确控制气体流量的装置。该系统特点:
SQ-1-type air supply system is imported from the United States Crawford needle, stop valve, five links, gas filters and other valves, fittings and domestic supporting gas cylinders, pressure gauges, source rack and other assembly Into The system is suitable for ion implanter, material modification machines and other devices that need precise control of gas flow. The system features:
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