【摘 要】
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<正> 一、前言共线四探针电阻率测量方法是国际上公认的标准方法,它广泛地应用于半导体工业中。本文介绍了四探针头对准确测量电阻率参数的影响和四探针头的测量方法。二、四
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<正> 一、前言共线四探针电阻率测量方法是国际上公认的标准方法,它广泛地应用于半导体工业中。本文介绍了四探针头对准确测量电阻率参数的影响和四探针头的测量方法。二、四探针头对电阻率测量的影响用共线四探针测量电阻率的基本原理如图1所示。测量时,四根金属探针同时与样品表面压接接触。外侧1、4探针通以恒定电流I,在内侧2、3探针间测量电位差V。根据理论分析,对于半无穷大样品(即样品的几何尺寸比探针间距S_i大很多倍),其电阻率ρ的普遍公式为:
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