【摘 要】
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为实现高精度非球面的面形误差检测，对激光直写计算全息图（CGH）的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的，通过基础工艺实验，探究离焦量对光刻胶上线宽的影响；研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律；分析线宽误差与位置误差关系，得到CGH 不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果，制作最小线宽1.8 mm，直径80 mm 的振幅型CGH。检测结果表明，波前误差均方根值为0.011l，达到l/100 量级，可用于高精度非球面的检测。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033中国科学院大学,北京100049
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为实现高精度非球面的面形误差检测，对激光直写计算全息图（CGH）的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的，通过基础工艺实验，探究离焦量对光刻胶上线宽的影响；研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律；分析线宽误差与位置误差关系，得到CGH 不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果，制作最小线宽1.8 mm，直径80 mm 的振幅型CGH。检测结果表明，波前误差均方根值为0.011l，达到l/100 量级，可用于高精度非球面的检测。
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