论文部分内容阅读
讨论了VDMOS功率器件的外延层结构,结终端技术,芯片背面多层金属化的优化设计理论与器件制造工艺技术;导出了BV_(DS)≥500V,I_(DS)≥IA的VDMOS外延层结构参数和终端结构模型与参数,给出了芯片背面多层金属化的工艺条件和制造VDMOS芯片的集成电路平面工艺流程.
VDMOS功率器件的优化设计与研制
【摘 要】
：
讨论了VDMOS功率器件的外延层结构,结终端技术,芯片背面多层金属化的优化设计理论与器件制造工艺技术;导出了BV_(DS)≥500V,I_(DS)≥IA的VDMOS外延层结构参数和终端结构模型
【机 构】
：
华中理工大学固体电子学系,华中理工大学固体电子学系
【出 处】
：
华中理工大学学报
【发表日期】
：
1993年3期
【基金项目】
：
国家重点企业技术开发项目
其他文献
本文对垂直磁记录方式的读出过程进行了理论分析.考虑到垂直磁记录方式的记录位长远小于单极型磁头厚度,在不计及漏磁的情况下,用镜像法推导了单层膜孤立反正切垂直磁化单极
《中共中央国务院关于进一步加强人才工作的决定》(以下简称《决定》)中指出:"人才问题是关系党和国家事业发展的关键问题。"就国有建筑企业而言,面对经济全球化步伐的不断加
综述了近年来后过渡金属催化剂催化烯烃与极性单体共聚的研究进展，后过渡金属催化剂催化乙烯与极性单体共聚的反应条件温和。对聚合机理和极性单体的种类进行了探讨，同时还讨论
随着科学技术的发展,计算机技术逐渐走入动画制作领域。由于计算机技术的引入,使得二维动画制作技术要加精细、完美,也使动画艺术家的想象力、创造力得以充分发挥。同时新的制作技术减轻了传统动画繁杂的手工劳动,从而大大提高了动画片的制作效率,降低了制作成本,是传统动画片制作所不能比拟的。本文作者结合实际工作经验,详细论述了二维电脑动画大规模制作实现的方法、亟待解决的问题及其发展趋势,专业人员从中可得到启迪和
我科于1999年2月～2001年4月收治了20名饮酒后因车祸造成重度颅脑损伤并气管内误 吸的危重患者.通过实施整体护理,均达满意效果.现将护理体会介绍如下.
本文对U(1)群规范势进行了探讨,将它分为场强势A_β~F及相位势A_β~α,A_β~α可以用一个等价的惯性力场描述.文中给出包含A_β~α的拉氏量及方程,讨论了几个特例,并推广到非
本文给出了区间型灰数矩阵的定义;讨论了区间型灰数矩阵的基本运算.为进一步研究灰色系统的预测、决策、控制等问题提供了一种数学工具.
在定常、有势、不可压流的前提下,对由回转体、附体围壳、十字翼和环形翼组成的潜体的水动力导数,采用奇点分布法进行了计算.计算中在潜体表面布置源汇和偶极子以模拟厚度影
本文以WTCAD系统为例,分析了在机械产品计算机辅助设计应用系统中,用户对于图形数据管理性能上的需要以及原有支撑软件系统的不之足处;在以现有的分离系统为支撑环境的条件下
分析了量子海森堡自旋玻璃稳态Replica对称解的稳定性,获得了著名的Almeida-Thouless(AT)和Gabay-Toulouse(GT)相变条件,通过数值计算得到了不同自旋值的AT临界相图,并讨论了