【摘 要】
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前言由中国电子学会生产技术学会”三束”专业委员会,半导体集成技术学会超微细加工及“三束”学组联合召开的第三届全国电子束、离子束、光子束(简称“三束”)学术年会于19
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前言由中国电子学会生产技术学会”三束”专业委员会,半导体集成技术学会超微细加工及“三束”学组联合召开的第三届全国电子束、离子束、光子束(简称“三束”)学术年会于1984年11月2—5日在北京香山召开。来自全国各地的高等院校、科研单位、工厂共98个单位,258名代表参加了会议。本届主办单位为中国科学院电工研究所。
Preface By the Chinese Institute of Electronics Technology Society of “three-beam” Professional Committee, Semiconductor Integrated Technology Society superfine processing and “three-beam” group jointly held the third national electron beam, ion beam, photon beam (referred to as the “three beam” ) The academic annual meeting was held in Xiangshan, Beijing on November 2-5, 1984. A total of 98 units from institutions of higher learning, research institutes and factories all over the country and 258 delegates attended the conference. The organizer is Institute of Electrical Engineering, Chinese Academy of Sciences.
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