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采用空心阴极离子镀的方法在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积了Ti(C,N)膜.通过测试膜层基本性能确定了反应气体流量C2H2和N2的最佳比例为0.1,即C2H2为5mL/min,N2为50mL/min.研究了膜层在750℃~950℃时的抗氧化性能.SEM及XRD分析表明,膜层抗氧化性较好,尤其在高温状态对基体有很好的保护作用.