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Ti（C，N）膜的离子镀及其抗氧化特性

来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiongyongdezhanghao

【摘 要】

：

采用空心阴极离子镀的方法在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积了Ti(C,N)膜.通过测试膜层基本性能确定了反应气体流量C2H2和N2的最佳比例为0.1,即C2H2为5mL/min,N2为50mL/min.

【作 者】

：

沈星 万建国 

【机 构】

：

南京航空航天大学智能材料与结构航空科技重点实验室,南京大学物理系

【出 处】

：

金属热处理

【发表日期】

：

2003年12期

【关键词】

：

离子镀 抗氧化性 钛膜 多元镀膜 刀具 奥氏体不锈钢 高温保护 Ti(C N)膜 ion plating Ti(C N) film oxidation test 

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采用空心阴极离子镀的方法在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积了Ti(C,N)膜.通过测试膜层基本性能确定了反应气体流量C2H2和N2的最佳比例为0.1,即C2H2为5mL/min,N2为50mL/min.研究了膜层在750℃～950℃时的抗氧化性能.SEM及XRD分析表明,膜层抗氧化性较好,尤其在高温状态对基体有很好的保护作用.

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