【摘 要】
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采取射频磁控溅射法在硅和石英衬底上淀积Ag–TiO2纳米薄膜,利用X射线衍射仪和紫外可见分光计分析薄膜的相结构和光学性能,研究银含量对Ag–TiO2薄膜相结构和能隙的影响。结
【机 构】
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安徽大学物理与材料科学学院,大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,安徽省信息材料与器件重点实验室,
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采取射频磁控溅射法在硅和石英衬底上淀积Ag–TiO2纳米薄膜,利用X射线衍射仪和紫外可见分光计分析薄膜的相结构和光学性能,研究银含量对Ag–TiO2薄膜相结构和能隙的影响。结果表明:银含量影响Ag–TiO2薄膜的相结构,薄膜中的银为金属Ag(Ag0),随着银含量(0～40%,体积分数)的增加,薄膜的能隙先减后增,但是仍然小于纯TiO2薄膜的能隙,银的添加明显地改善了TiO2薄膜对可见光的吸收。
Ag-TiO2 nanostructured films were deposited on silicon and quartz substrates by RF magnetron sputtering. The phase structure and optical properties of the films were analyzed by X-ray diffractometer and UV-vis spectrometer. Effect of structure and energy gap. The results show that the silver content affects the phase structure of the Ag-TiO2 thin film. Silver in the thin film is Ag (Ag0). With the increase of silver content (0-40%, volume fraction) But still smaller than the energy gap of the pure TiO2 film. The addition of silver obviously improves the absorption of visible light by the TiO2 film.
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