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期刊论文
S—枪溅射NiCr薄膜的Monte Carlo模拟
S—枪溅射NiCr薄膜的Monte Carlo模拟
来源 :福州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:a479704375
【摘 要】
:
对S-枪溅射NiCr合金薄膜过程采用MontelCarlo法进行了计算模拟,用靶刻蚀图形作为粒子发射频度函数,采用Thompson能量分布,并考虑了环境气体的热运动,得到沉积粒子的能量,入射角度的分布随溅射工艺参数的变化
【作 者】
:
于映
陈跃
【机 构】
:
福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
:
福州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
溅射
薄膜
镍铬合金
蒙特卡罗模拟
sputter Monte Carlo simulation thin film NiCr
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对S-枪溅射NiCr合金薄膜过程采用MontelCarlo法进行了计算模拟,用靶刻蚀图形作为粒子发射频度函数,采用Thompson能量分布,并考虑了环境气体的热运动,得到沉积粒子的能量,入射角度的分布随溅射工艺参数的变化规律。
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