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为了满足航天关键件的加工精度要求，需要设计并制造满足设计要求的纳米级精度的竖直液体静压滑台。本文针对滑台结构、关键部件及公差设计方法展开了研究。首先，根据高精度竖直滑台的设计要求，采用不等流量的滑块结构及控制方法整体设计滑台结构。设计时，将所有液压油管路均设置在滑块中，以减小油压损耗，且使得滑台结构紧凑。接着，为使圆孔加工时圆度误差不受导轨刚度的影响，采用等导轨刚度的设计方法，同时给出了该方法下油膜厚度、刚度、压力的计算方法。文中还证明了上下油腔不等承载面积法能够降低竖直滑台由于倾覆力矩产生的倾角误差，提