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微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器，微电感器，微谐振器，微滤波器，微开关等的典型结构形式及其主要性能。
用于通信领域中的MEMS器件
【摘 要】
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微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器，微电感器，微谐振器，微滤波器，微开关等的典型结构形式及其主要性能。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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电子科技导报
【发表日期】
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1999年7期
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