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采用Monte Carlo方法模拟计算了Ti＋、H＋、N＋、Ar＋注入棉花种子的深度-浓度分布。采用经典的两体碰撞理论来近似离子与靶原子之间的作用,用严格的数值解法处理散射积分,得到了与实验值较为接近的结果。进一步分析了不同能量和离子源对注入深度-浓度的影响,为研究低能离子与植物种子之间的相互作用提供了理论依据。