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利用CCD图像传感器和图像采集处理技术,实现了电子束着屏误差二维自动测量。在荧光屏的前端附加垂直和水平两组微偏转线圈,通过控制微偏转线圈的电流,改变着屏点附近的磁场,使电子束着屏点的位置在一个粉点范围内精确连续可调。标准光栅的测试验证,系统绝对误差小于5m,表明该系统稳定可靠,一致性好。