降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法

来源 :吉林大学学报：信息科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianshu888

【摘要】

：

利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低.提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该

【作者】

：

董玮阮圣平张歆冬刘彩霞张龙陈维友

【机构】

：

吉林大学

【出处】

：

吉林大学学报：信息科学版

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

微机械光开关驱动电压静电驱动扭臂结构阈值电压化学腐蚀光通信 Micromechanical Optical switches Electrosta

【基金项目】

：

国家自然科学基金，吉林省科技发展计划，国家高技术研究发展计划(863计划)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低.提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得到.理论分析表明,倾斜下电极结构可以使阈值电压从60 V降低到32 V.

其他文献

浅议支付结算服务方式的创新

支付结算是指单位、个人在社会经济活动中使用票据、信用卡和汇兑、托收承付、委托收款等方式进行货币给付及其资金清算的行为.农业发展银行作为政策性银行,应不断探索支付结

期刊

支付结算服务方式创新中国农业发展银行电子联行网上银行商业汇票银行结算制度

基于整形小波变换的零树编码算法的改进

针对整形小波变换能量集中性较差的问题,提出了基于整数平方阈值的小波图像压缩算法.该算法用整数平方阚值代替传统零树编码中2的整数幂量化阈值;通过调整码字的表示方式,充

期刊

整形小波变换零树编码阈值integer wavelet transformzerotree coding threshold value

中国货币监管面临的问题及政策取向

入世后的中国货币监管当局面临着封闭式的单边监管和开放式综合监管等一系列问题。由此，中国货币监管当局无论从体制框架上、机制建设上、制度安排上都应拿出符合金融运行实际

期刊

中国货币监管政策取向监管手段监管制度

会计信息失真原因探析

造成会计信息失真的原因是多方面的，既有人为因素，也有非人为因素，其中人为因素是最主要的原因，也是治理的主要对象。

期刊

审计财务制度会计信息失真会计信息质量危害财会人员管理体制经营管理规章制度

内蒙古自治区人民政府办公厅关于印发《内蒙古自治区限制开发区域限制类和禁止类产业指导目录（2016年本）》的通知

各盟行政公署、市人民政府，自治区各委、办、厅、局，各大企业、事业单位：经自治区人民政府同意．现将自治区经济和信息化委会同自治区发展改革委、科技厅、国土资源厅、住房城乡建

期刊

内蒙古自治区人民政府办公厅限制开发区域指导目录限制类产业印发市人民政府

利用（110）硅片制作微反射镜

采用体硅微机械加工方法,通过光刻、反应离子刻蚀和氢氧化钾水溶液湿法刻蚀等工艺,根据(110)硅片结晶学原理,在(110)硅片上制作出微反射镜.微反射镜的镜面为{111}晶面,利用扇

期刊

微反射镜{111}晶面刻蚀Micro-mirror {111} side Etching

内蒙古自治区人民政府办公厅关于贫困旗县统筹整合使用财政涉农涉牧资金试点工作的实施意见

内政办发[2016]101号 8月20日各盟行政公署、市人民政府，自治区各委、办、厅、局。各大企业、事业单位：根据《国务院办公厅关于支持贫困县开展统筹整合使用财政涉农资金试点的

期刊

人民政府办公厅内蒙古自治区涉农资金贫困县财政试点整合旗县

相控震源地震波定向技术

针对采用多个震源同时工作的组合地震勘探,仍有所使用的震源数目受限,不适于大倾角地层勘探的问题,提出了一种产生定向地震波的方法.该方法将相控阵技术应用于可控震源阵列,

期刊

相控阵可控震源地震波定向phased array vibroseis seismic wave beam-forming

建昌黑山羊的选育提高与杂交利用

期刊

黑山羊山羊选育杂交利用

绵羊“干肠病”的病因诊断报告

期刊

羊病绵羊干肠病病因诊断治疗

降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法

与本文相关的学术论文