【摘 要】
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基于微机电系统（MEMS）技术的近红外光谱仪已成为当前便携式近红外光谱仪研究的热点。然而,MEMS微镜在长期工作过程中,由于自身特性变化以及外界振动等因素的影响,导致其运行过
【机 构】
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东南大学自动化学院,南京富岛信息工程有限公司
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基于微机电系统（MEMS）技术的近红外光谱仪已成为当前便携式近红外光谱仪研究的热点。然而,MEMS微镜在长期工作过程中,由于自身特性变化以及外界振动等因素的影响,导致其运行过程中产生角度偏转,进而影响近红外光谱仪的性能。此外,微镜驱动系统还存在变量耦合问题,常规控制方法难以满足近红外光谱仪的性能要求。研究设计了MEMS微镜PID解耦控制系统,将MEMS微镜运动过程中的偏转角控制在0.005°左右,改善了光谱仪的性能。
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