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本文采用３５５ｎｍ脉冲激光脱附和光解一些金属氯化物（ＣｕＣｌ２，ＡｇＣｌ和ＣｓＣｌ）薄膜产生高动能的超热氯原子，用飞行时间质谱法测得知成的Ｃｌ原子的动能分布很宽，最大动能可达６ｅＶ左右，氯化物薄膜厚度对Ｃｌ原子的最大支能有明显的影响，增加激光能量密度将使Ｃｌ原子最动能迅速增高。此外，还讨论了上述产生超热Ｃｌ原子的机理。