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叙述了近年在北京电影机械研究所(BF)研发的光学薄膜元器件,讨论了其中的技术要点.同时对所采用的离子辅助技术及膜层厚度监控技术进行了讨论.
BF的光学薄膜
【摘 要】
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叙述了近年在北京电影机械研究所(BF)研发的光学薄膜元器件,讨论了其中的技术要点.同时对所采用的离子辅助技术及膜层厚度监控技术进行了讨论.
【机 构】
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北京电影机械研究所(北京)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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