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近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注，成为了全球半导体领域研究和投资的新热点。本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题，对UV—LED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍，并展望了未来发展方向。
AlGaN基UV—LED的研究与进展
【摘 要】
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近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注，成为了全球半导体领域研究和投资的新热点。本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题，对UV—LED
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2007年1期
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