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化学气相淀积反应器内TiCl4氧化反应动力学

来源 :华东化工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：binglei2_zj

【摘 要】

：

采用原位红外测试技术,在线观测了化学气相淀积反应器内TiCl₄的均相氧化反应。捕获了两种重要活性中间体TiCl₃和TiOCl₂,从而导出该反应的

【作 者】

：

王松 胡黎明 

【机 构】

：

华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室

【出 处】

：

华东化工学院学报

【发表日期】

：

1992年4期

【关键词】

：

四氟化钛 二氧化钛 化学气相淀积 kinetics  titanium tetrachloride  titanium dioxide  intermediat 

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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采用原位红外测试技术,在线观测了化学气相淀积反应器内TiCl₄的均相氧化反应。捕获了两种重要活性中间体TiCl₃和TiOCl₂,从而导出该反应的机理模型。并采用尾气红外定量分析方法得到了TiCl₄氧化反应的动力学方程及反应活化能。反应活化能:66.8 kJ/mol,指前因子:2.45×10<sup>2&

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