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利用磁控溅射方法在304不锈钢表面沉积厚约100nm的钽膜，并对其进行氮等离子体基离子注入，注入能量为50keV，用掠射X线衍射（GXRD）分析了改性层的组成相结构，选取Ф6mm的GCr15钢球作为对磨件，测试了处理后试样的磨损性能．研究结果表明：改性层含有钽的氮化物，注入剂量较低时，化合物为TaN0.1；随着注入剂量的增加，形成TaN．经过该处理后的304不锈钢磨损性能提高，磨损率降低幅度达到66．3％；摩擦因数有所降低，表面摩擦因数由未处理前的1．0～1．2下降至处理后的0，2～0．4．