论文部分内容阅读
为了为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显著地提高了灵敏度，取得了与理论计算符合得很好的实验结果。
簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计
【摘 要】
：
为了为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所,湖南吉首大学传感器研究所
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
1998年8期
【基金项目】
：
湖南省教委“九五”重大科研项目资助
其他文献
为保证建设用地土壤环境调查监测数据的真实性、有效性和代表性,本文试从实施外部监督的角度,对建设用地土壤环境监测布点、现场采样、实验分析和监测数据审核等监测过程的外部质量控制措施进行论证分析,并指出现有监督检查工作的不足。
本文论述了齿轮传动系统动态多参数复合传感原理。应用分离与合成技术，从栅式转矩传感器的简单信号中，同时测取传动系统转矩，转速，加速度，效率，传动误差等５个动态特性参数，为无畸异采
在快速发展、日益繁荣的市场经济带动下,我国电力事业的发展较之前已有了显著的提升。电力系统的存在与人们的生活、社会的发展关系密切,但是电力系统内部所存在的一些弊端仍
本文针对欧洲认证系统CIG 023报告中文件和记录审核要点,结合ISO 9001:2015的相关要求,对审核依据的来源和审核成文信息有效性进行分析,提出对审核员的能力提升的要求,达到对
本文主要针对交通建设安全生产管理缺乏科学性与系统性的问题,从人、设备、环境、管理四因素确定交通建设安全生产管理体系的设计要素,根据交通建设现有体制和实际情况,提出
2月11日，联合发射联盟公司的宇宙神5—401型运载火箭在范登堡空军基地发射了“陆地卫星数据连续性任务”卫星。该卫星将接替1984年发射、眼下正在做退役处理的“陆地卫星”5。
针对超稠油需要较高的处理及输送温度,通过对加热设施的比选,采用导热油做为加热超稠油的热媒,对导热油系统工艺流程进行描述,并对热煤系统进行详细的设备计算,选出经济合理
4月25日，由中国载人航天工程办公室主办、中国航天科技集团公司协办的中国载人空间站名称征集活动发布暨启动仪式在人民大会堂举行。活动将面向公众征集中国载人航天工程标识，
教学反思是提高教师是教师提高教师不断更新教学方法、自我察觉水平的手段,是教师成长和发展的主要途径,是提高教教学水平和能力的关键点。本文针对食品安全风险管理与控制这
实施素质教育已深入到各个学校领域,而初中美术教育中,如何使学生的各种素质得到全面发展,已引起广大美术教师的关注和思索。美育,是素质教育中的重要任务,它同素质教育中的