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论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.
薄膜应力分析及一些测量结果
【摘 要】
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论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所(上海)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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