17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xyjslzy

【摘要】

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设计了17．1nm波段光电成像系统，用于对波长为17．1nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分：光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd：YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等

【作者】

：

薛玲玲陈波尼启良张华曹轲张玲

【机构】

：

长春理工大学理学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

极紫外激光等离子体单色仪微通道板 extreme ultraviolet laser-produced plasma monochromator m

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设计了17．1nm波段光电成像系统，用于对波长为17．1nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分：光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd：YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体，掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600L／mm的球面掠入射光栅组成，经单色仪分光后得到波长为17．1nm的单色光，探测器是微通道板(MCP)和荧光屏组件共同组成，Kodak400型胶卷被用于记录狭缝的像。结果获得了一宽度为3mm的狭缝的像，实验测得130μm的成像系统的空间分辨率，好于相同条件下文

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