正向磁控规放电的不稳定性研究

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gy13006467077
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文研究了正向磁控规放电的异常作用。指出电场和磁场的排列非完全正交,使得阳极壳层变得不对称,是磁控规放电不稳定的主要因素,并从理论和实验上做了详细地。讨论。认为电极轴和磁场轴间偏离角应小于0.2。 This paper studies the anomalous effect of positive magnetron discharge. It is pointed out that the arrangement of the electric field and the magnetic field are not completely orthogonal, which makes the anode shell asymmetric. It is the main factor of unstable magnetron discharge and has been theoretically and experimentally detailed. discuss. It is considered that the deviation angle between the electrode axis and the magnetic field axis should be less than 0.2.
其他文献
中央美术学院的国际艺术交流在改革开放的新时期获得了长足发展:学院派出的教员到国外考察、进修、研习,实现了视野更新和能力提高,促进了各专业的教学;学院主办的《米罗艺
随着家用无菌容器的发展,这种由美国EX—Ceu—o公司推出具有成型、填充、密封全过程无菌操作特点新型1813克包装盒已获专利。 With the development of domestic aseptic c
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
为方便海内外广大作者有针对性地写作和投稿,兹将本刊有关资讯及规约敬告如下:1.本刊是研究现实问题的学术期刊。主要栏目有:特别策划(本刊特稿、热点话题)、专家论坛、理论
新世纪第一个春天 ,在春意盎然的潍坊市召开的“2 1世纪比较文学学科建设学术研讨会暨《比较文学教程》首发式”于 5月 1 3日胜利闭幕。就学科建设而言 ,这是中国比较文学史
上钢三厂制氧空压机是DA-350-61型多级离心式高速空压机,转速达8600转/分,这种空压机在我国中小型钢铁联合企业中应用甚为广泛。为了加强设备管理,改“定期维修”为“针对性
我厂是食品外销用空罐专业生产厂,创建于1984年,现有厂房及建筑面积3000平方米,职工人数92人,预期1993年产值可达八百万元。我厂拥有60—60—S全自动电阻焊机一 Our factor
不论是国内还是国际上,有关高速摄影的专著,为数不多.苏联A.C.杜鲍维克所著的《高速流逝过程摄影记录》是其中一本比较好的著作.原著第一版是1964年出版的,黎雄、西光四译成
根据煤田钻探施工过程的统计分析,找出绳索取芯金刚石钻进中的钻杆结泥皮技术问题、钻孔漏失、绳钻钻头钻速低及寿命不高等的原因。并提出了具体的解决方法。 According to
所谓被领导者意识,是指领导者在领导过程中自觉地把被领导者的心理需要、个性特征、德才表现、接受水平和承受能力等纳入自己思维活动之中的心理形态。纵观历史,凡成就领导大