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CdTe退火是高效CdTe太阳电池制备中的关键步骤。均匀性是大面积太阳电池性能的决定性因素之一。对比研究了用CdCl2溶液渗透、CdCl2源蒸发、超声雾化CdCl2退火方式处理后电池的均匀性。比较了电池光IV曲线中的开路电压、短路电流密度、填充因子、效率的相对标准差以及效率位置分布图，得出溶液渗透方法得到的35个电池电池效率的相对标准差为0．00935、CdCl2源蒸发退火及超声雾化CdCl2退火的分别为0．0707和0．0643。结果表明，CdCl2溶液渗透退火比其他两种方式处理后电池的均匀性好。