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国内首个超高纯微电子化学品项目——上海华谊微电子材料有限公司的奠基仪式日前在上海举行。该项目首期投资超过1．7亿元人民币，预计将在2005年内完工投产，届时可年生产近2万t各种超高纯微电子化学品。
国内首个超高纯微电子化学品项目奠基
【摘 要】
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国内首个超高纯微电子化学品项目——上海华谊微电子材料有限公司的奠基仪式日前在上海举行。该项目首期投资超过1．7亿元人民币，预计将在2005年内完工投产，届时可年生产近2万t各
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2005年1期
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