C（膜）／S2（Si02）（纳米微粒）／C（膜）的XPS及Raman谱测试分析

来源 :西南师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ashwing

【摘要】

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X射线光电子能谱测试(XPS)分析C(膜)／Si(Si02)(纳米微粒)／C(膜)样品发现：把400℃退火后的祥品继续加热到650℃并退火1h后，样品中除原有的Si晶体外，生成了SiC晶体，同时还出现了Si02

【作者】

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邱晓燕李建

【机构】

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西南师范大学物理系

【出处】

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西南师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2003年2期

【关键词】

：

C/S2(Si02)/C 碳膜二氧化硅碳纳米微粒碳化硅 X射线光电子能谱 RAMAN谱硅基发光材料 Si(SiO_2) nanoparticles ca

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X射线光电子能谱测试(XPS)分析C(膜)／Si(Si02)(纳米微粒)／C(膜)样品发现：把400℃退火后的祥品继续加热到650℃并退火1h后，样品中除原有的Si晶体外，生成了SiC晶体，同时还出现了Si02晶体，这表明一部分Si与C反应生成SiC的同时，氧气的氧化作用占主导地位，把大部分Si氧化成了Si02．对比分析在650℃和750℃退火后祥品的Raman谱发现：随着加热温度的升高，SiC与Si含量增加而SiO2含量减少．这表明：在750℃时，C原于的还原作用继400℃后再次占主导地位，又把一部分S

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