纳米压入法的柔度效应及其校正

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根据亚微压入仪的柔度测定,考察了仪器柔度对纳米压入法测试材料表层硬度和弹性模量的影响,指出柔度因子主要影响卸载线的斜率,用单测点法测弹性模量和硬度分布时必须修正测试结果. According to the measurement of the compliance of sub-microindentation instrument, the influence of instrument compliance on the surface hardness and elastic modulus of the test material by nanoindentation method was investigated. It was pointed out that the flexibility factor mainly affected the slope of the unloading line, Modulus and hardness distribution must be corrected test results.
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