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【正】国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。
国内首台自主知识产权光刻机将在合肥面世
【摘 要】
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【正】国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。
【出 处】
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中国.城乡桥
【发表日期】
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2007年11期
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