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CVD（化学气相沉积）镀膜是半导体生产的关键步骤，沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求，以visualC＋＋2005为开发平台，在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理，其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。
基于WindowsMobile的半导体CVD监控系统的设计与实现
【摘 要】
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CVD（化学气相沉积）镀膜是半导体生产的关键步骤，沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求，以visualC＋＋2005为开发平台，在Windows Mobile平台实现了晶
【机 构】
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浙江农林大学信息工程学院
【出 处】
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科技信息
【发表日期】
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2011年36期
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