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集成热电堆传感器
集成热电堆传感器
来源 :控制工程(北京) | 被引量 : 0次 | 上传用户:shipeicheng
【摘 要】
:
本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用,重点阐述热敏传感器微结构的设计,其次讨论基于热效应的各种敏感原理,最后介绍利
【作 者】
:
VanH.
AW
黄玢
【出 处】
:
控制工程(北京)
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
集成热电堆
传感器
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本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用,重点阐述热敏传感器微结构的设计,其次讨论基于热效应的各种敏感原理,最后介绍利用这些原理最近研制的几种硅热电堆传感器。
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