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介绍亚微米工艺中清洗技术的重要性，清洗技术的现状，问题及其发展趋势以及清洗设备，片子表面净度测量装置的一般走势。
超LSI时代的清洗技术
【摘 要】
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介绍亚微米工艺中清洗技术的重要性，清洗技术的现状，问题及其发展趋势以及清洗设备，片子表面净度测量装置的一般走势。
【机 构】
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中国航空工业总公司西安微电子技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年3期
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