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本文论述了金刚石薄膜的优点，比较了化学淀积金刚石薄膜的常用方法的优缺点，主要介绍了电容耦合射频化学气相淀积金刚石薄膜的原理和近期国际对典型电容耦合气相淀积设备的改进研究。
RF化学气相淀积金刚石薄膜
【摘 要】
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本文论述了金刚石薄膜的优点，比较了化学淀积金刚石薄膜的常用方法的优缺点，主要介绍了电容耦合射频化学气相淀积金刚石薄膜的原理和近期国际对典型电容耦合气相淀积设备的改进
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1998年2期
【基金项目】
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江苏省青年科学基金
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