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2006年2月英特尔率先在全球推出45nm 153Mb SRAM原型，并准备于2007年下半年量产，从此拉开了45nm技术节点序幕。本文介绍了45nm节点的发展动态，并着重介绍45nm光刻、应变硅、低k膜、铜互连，高k膜、新型晶体管结构、SOI和等效离子掺杂等工艺。
45nm节点在悄悄行动
【摘 要】
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2006年2月英特尔率先在全球推出45nm 153Mb SRAM原型，并准备于2007年下半年量产，从此拉开了45nm技术节点序幕。本文介绍了45nm节点的发展动态，并着重介绍45nm光刻、应变硅、低k
【机 构】
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无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2006年5期
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