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本文报道用化学汽相沉积法生长硒化锌多晶过程中尾气处理的方法。此法可将硒化锌多晶生长过程中产生的硒化氢毒气由10%(体积比浓度)一次降至2×10~(-3)wt-%以下。
硒化锌多晶生长过程中尾气处理的研究
【摘 要】
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本文报道用化学汽相沉积法生长硒化锌多晶过程中尾气处理的方法。此法可将硒化锌多晶生长过程中产生的硒化氢毒气由10%(体积比浓度)一次降至2×10~(-3)wt-%以下。
【机 构】
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人工晶体研究所北京,100018
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1993年1期
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