【摘 要】
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本文论述了应用离子束溅射淀积非晶硅薄膜及薄膜制成后的退火与氢化处理,讨论了薄膜光特性差异的机理和获得良好光特性的方法。文中提供了有关工艺参数、光电导和暗电导与温
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本文论述了应用离子束溅射淀积非晶硅薄膜及薄膜制成后的退火与氢化处理,讨论了薄膜光特性差异的机理和获得良好光特性的方法。文中提供了有关工艺参数、光电导和暗电导与温度的关系曲线以及光学参数。
In this paper, the annealing and hydrogenation of amorphous silicon thin films and thin films deposited by ion beam sputtering are discussed. The mechanism of the difference of light characteristics of thin films and the method of obtaining good optical properties are discussed. The article provides information on process parameters, photoconductivity and dark conductance versus temperature, and optical parameters.
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