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0引言接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础，采用微差比较法测量长度的高准确度仪器。主要用于检定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量块，也可对其他高准确度零件进行测量或作高准确度定位。在一般计量部门．接触式干涉仪较多地使用于检定和校准3、4等量块。
接触式干涉仪的调整和修理
【摘 要】
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0引言接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础，采用微差比较法测量长度的高准确度仪器。主要用于检定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量块，也可对其他高准确度零件进行测量或作高准
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2012年4期
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