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为了提高砷化镓缺陷检测的可靠性，对熔融ＫＯＨ腐蚀性，ＡＢ腐蚀法和超声ＡＢ腐蚀法三种腐蚀方法进行了可靠性对比实验研究。发现超声ＡＢ腐蚀法操作简便，适用范围广，显示缺陷的可靠性和充分性奶高，同时具有分辨能力强，获得缺陷信息量多等特点，是一种值得推广的ＧａＡｓ晶体缺陷检测方法。作者提出了超声ＡＢ腐蚀检测ＧａＡｓ晶体缺陷的检测工艺条件。并提供了部分有代表性的照片，可作有关部门在今后修订国家标准时参考。