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期刊论文
微机电系统磨损特性研究进展
微机电系统磨损特性研究进展
来源 :摩擦学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:william1212
【摘 要】
:
对微机电系统,尤其是微旋转机械的磨损研究现状进行评述,介绍MEMS及微旋转机械中的各种磨损问题,分析材料和不同工况(表面粗糙度、环境以及载荷)等条件对MEMS及微旋转机械磨
【作 者】
:
张文明
孟光
【机 构】
:
上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室
【出 处】
:
摩擦学学报
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
微机电系统(MEMS)
磨损性能
表面改性
MEMS wear behavior surface modification
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对微机电系统,尤其是微旋转机械的磨损研究现状进行评述,介绍MEMS及微旋转机械中的各种磨损问题,分析材料和不同工况(表面粗糙度、环境以及载荷)等条件对MEMS及微旋转机械磨损性能的影响,介绍不同形式的磨损模型、分析方法与检测仪器,并对相关领域的研究进展进行展望.
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