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红外焦平面技术的重要进展--单片式SiGe红外焦平面阵列的物理基础和关键技术
红外焦平面技术的重要进展--单片式SiGe红外焦平面阵列的物理基础和关键技术
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wxws008
【摘 要】
:
由SiGe合金与Si构成的应变层异质结构、量子阱是80年代中期发展起来的一种新型半导体材料。本文着重讨论了单片式SiGe红外焦平面阵列的物理基础、高质量SiGe材料的制备以及低温SiGe器件研制中的几
【作 者】
:
魏同立
郑茳
【机 构】
:
东南大学微电子中心
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
红外探测器
焦平面阵列
锗化硅
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由SiGe合金与Si构成的应变层异质结构、量子阱是80年代中期发展起来的一种新型半导体材料。本文着重讨论了单片式SiGe红外焦平面阵列的物理基础、高质量SiGe材料的制备以及低温SiGe器件研制中的几个关键技术。
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