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以内径1．1rn的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例，设计了提高膜厚均匀性的修正挡板，并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内，膜层厚度的均匀性误差从±6％降低至±0．96％，满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。
大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究
【摘 要】
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以内径1．1rn的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例，设计了提高膜厚均匀性的修正挡板，并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内，膜层厚度的均匀性误差从±6％降低至
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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长春工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2013年2期
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