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基于DMD数字光刻系统,建立了一种新型的双光源DMD数字光刻系统。双光源DMD数字光刻系统由光源照明系统、DMD数字微镜、投影物镜以及CCD调焦系统等几个部分组成。实验表明,与DMD数字光刻系统相比,双光源DMD数字光刻系统具有调焦点不被曝光的优点,可用于制作光纤端面微光学器件。
双光源DMD数字光刻系统
【摘 要】
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基于DMD数字光刻系统,建立了一种新型的双光源DMD数字光刻系统。双光源DMD数字光刻系统由光源照明系统、DMD数字微镜、投影物镜以及CCD调焦系统等几个部分组成。实验表明,与D
【机 构】
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江西应用技术职业学院,赣南师范学院
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2011年8期
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