【摘 要】
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一、实验部分 (一)工作条件 上电极为圆锥形,端面直径2μm,下电极孔穴尺寸为φ2.5×3×0.5mm。曝光时间长、短波均为40s,显影时间短波为2min,长波为1.5min。 (二)标准样品处
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一、实验部分 (一)工作条件 上电极为圆锥形,端面直径2μm,下电极孔穴尺寸为φ2.5×3×0.5mm。曝光时间长、短波均为40s,显影时间短波为2min,长波为1.5min。 (二)标准样品处理 标准样品的配制见表1。
First, the experimental part (A) working conditions Upper electrode is conical, end diameter 2μm, the lower electrode hole size φ2.5 × 3 × 0.5mm. Exposure time is long, short-wave are 40s, developing time short-wave 2min, long-wave 1.5min. (B) standard sample processing standard sample in Table 1.
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