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论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线.这些分析为此类加速度传感器的设计提供了理论依据.
真空微电子加速度传感器结构的有限元分析
【摘 要】
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论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关
【机 构】
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重庆大学光电工程学院微系统实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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