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研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中，放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律．
金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响
【摘 要】
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研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中，放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律．
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连理工大学物理系,吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春工业大学工商管理学院,辽宁工学院计算机科学与工程学院
【出 处】
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吉林大学学报(理学版)
【发表日期】
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2006年5期
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