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X射线Bragg—Fresnel元件中多层膜的稳定性研究
X射线Bragg—Fresnel元件中多层膜的稳定性研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cugll2008
【摘 要】
:
本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜结构的热学及化学稳定性。介绍了实验方案及工艺条件。实验结果表明该你层膜结构在后续工艺中的热及化学载荷下性能是稳定的。并且在高温的热稳定性
【作 者】
:
乐孜纯
梁静秋
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
X射线
B-F元件
多层膜
热稳定性
化学稳定性
Bragg-Fresnel optics
multilayer structure
thermal sta
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜结构的热学及化学稳定性。介绍了实验方案及工艺条件。实验结果表明该你层膜结构在后续工艺中的热及化学载荷下性能是稳定的。并且在高温的热稳定性也是好的。
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