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本文研究Ｘ射线Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ元件中多层膜结构的热学及化学稳定性。介绍了实验方案及工艺条件。实验结果表明该你层膜结构在后续工艺中的热及化学载荷下性能是稳定的。并且在高温的热稳定性也是好的。
X射线Bragg—Fresnel元件中多层膜的稳定性研究
【摘 要】
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本文研究Ｘ射线Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ元件中多层膜结构的热学及化学稳定性。介绍了实验方案及工艺条件。实验结果表明该你层膜结构在后续工艺中的热及化学载荷下性能是稳定的。并且在高温的热稳定性
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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